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產(chǎn)品中心

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北京超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺

產(chǎn)品型號:HUE-ZT1032

產(chǎn)品名稱:超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺

徑向回轉(zhuǎn)精度0.1μm

角回轉(zhuǎn)精度0.3μm

工作臺平面度15μm

工作臺面跳動(dòng)20μm











解決方案










視頻展示

  • 詳細(xì)信息
  • 產(chǎn)品概述


一.產(chǎn)品簡介

HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測試等。

H400高精度轉(zhuǎn)臺-裝配3.png

二.規(guī)格與工作特性

臺面直徑范圍為φ200mm一φ600mm,設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨(dú)定做;臺體承重從100kg到600kg。

三.結(jié)構(gòu)與工作特性

HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù),進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì),使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn),在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。


   
   四.控制特性


該轉(zhuǎn)臺分為有驅(qū)動(dòng)和無驅(qū)動(dòng)兩種,有驅(qū)動(dòng)的控制指標(biāo)可按下述數(shù)據(jù)選配。

守置誤差:0.2V”

角分辨率0.01-2”

重復(fù)性0.1-1”

率規(guī)范±0.030/S±1500/S

速率波動(dòng)性0.5%~1%


五.使用條件


電壓:220或380v交流電壓,50Hz

氣源:0.4-0.5MPa的過濾干燥空氣

溫度:20°C±5°c

濕度:<60%

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