精密儀器種類繁多、結(jié)構(gòu)各異。對(duì)于用于測(cè)量的精密儀器而言，可將其結(jié)構(gòu)分為基準(zhǔn)、機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)、感受轉(zhuǎn)換、轉(zhuǎn)換放大傳輸、瞄準(zhǔn)/讀數(shù)、數(shù)據(jù)處理、顯示記錄、驅(qū)動(dòng)控制、機(jī)械結(jié)構(gòu)等八大功能部件。但并不是說一臺(tái)精密儀器中必須包含上述八大功能部件，而是應(yīng)根據(jù)儀器功能的要求有所選擇。

1．基準(zhǔn)部件

基準(zhǔn)部件為測(cè)量提供標(biāo)準(zhǔn)量，測(cè)量結(jié)果均須與之比較方能得到準(zhǔn)確的測(cè)量值。因此，它是決定精密儀器精度的主要環(huán)節(jié)。

基準(zhǔn)器件的種類很多，如用于幾何量（長(zhǎng)度和角度）測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)器件：量塊、精密測(cè)量絲杠、線紋尺、度盤、多面棱體、多齒分度盤、光柵尺（盤）、磁柵尺（盤）、感應(yīng)同步器、光波等。對(duì)于復(fù)雜參數(shù)，有漸開線樣板、表面粗糙度樣板等標(biāo)準(zhǔn)件，還有提供標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)的標(biāo)準(zhǔn)圓運(yùn)動(dòng)、漸開線運(yùn)動(dòng)和齒輪運(yùn)動(dòng)裝置。此外還有標(biāo)準(zhǔn)硬度塊、頻率計(jì)，以及時(shí)間、照度、流量、色度、激光參數(shù)、溫度、測(cè)力、稱重等標(biāo)準(zhǔn)?？筛鶕?jù)需要選取。

2．感受轉(zhuǎn)換部件

感受轉(zhuǎn)換部件感受被測(cè)量，拾取原始信號(hào)以便進(jìn)一步轉(zhuǎn)換、處理和分析。其精度直接影響整個(gè)儀器的精度。

有的儀器的感受轉(zhuǎn)換部件僅起感受原始信號(hào)的作用，有的同時(shí)還進(jìn)行一次信號(hào)的轉(zhuǎn)換。感受轉(zhuǎn)換部件有兩大類：一類為接觸式的，如各種機(jī)械式探頭；一類為非接觸式的，如氣動(dòng)非接觸測(cè)頭、光學(xué)探頭、紅外線、渦流測(cè)頭、拾音器等。

3．轉(zhuǎn)換放大傳輸部件

轉(zhuǎn)換放大傳輸部件將感受轉(zhuǎn)換來的微小信號(hào)，通過各種原理（光、機(jī)、電、氣）進(jìn)一步轉(zhuǎn)換和放大，成為觀察者或其下一部件可直接接收的信號(hào)，如顯示或進(jìn)一步加工處理。

4．瞄準(zhǔn)/讀數(shù)部件

瞄準(zhǔn)/讀數(shù)部件感受被測(cè)量/標(biāo)準(zhǔn)量，用以對(duì)零/讀數(shù)。

瞄準(zhǔn)部件用以感受被測(cè)量，要求指零準(zhǔn)確，一般不做讀數(shù)用，故不要求其靈敏度。讀數(shù)部件用以感受標(biāo)準(zhǔn)量，機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)由它產(chǎn)生測(cè)量結(jié)果。在實(shí)際測(cè)量中，二者又是可互換，而不是絕對(duì)的。但有的儀器二者不能互換。