非線性誤差 優(yōu)于±2nm
最大光束直徑：9mm
輸出效率：≥5%（三軸總和）
測量點公差：平均值±0.15mm，偏差值±1mm
角度容差：±1.5mrad
光束平行度：＜50μrad （單軸測量光與參考光之間）
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一.產品簡介
DP03-P是由哈爾濱工業(yè)大學研制、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司開發(fā)的高 精度三軸激光干涉鏡組。DP03-P鏡組具有三個測量軸，可對被測目標進行多自由度位移同 步測量，以進一步解算其偏擺角度，適合超精密多自由度的測量應用。
二.DP03-P 型三軸激光干涉鏡組技術規(guī)格
| 測量特性 | 分辨力 | λ/4（光學四細分） |
| 熱漂移系數(shù) | ≤40 nm/K | |
| 非線性誤差 | 優(yōu)于±2nm | |
| 光機特性 | 最大光束直徑 | 9mm |
| 輸出效率 | ≥5%（三軸總和） | |
| 測量點公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1.5mrad | |
| 光束平行度 | ＜50μrad （單軸測量光與參考光之間） | |
| 工作環(huán)境 | 溫度范圍 | 18℃-25℃ (推薦值 20±1℃，30 min 內變化≤±0.1℃) |
| 相對濕度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 134mmX91mmX73mm （包含殷鋼保護殼） |
| 重量 | 3 kg | |
| 共振頻率 | >1kHz |
三.DP03-P型三軸激光干涉鏡組機械尺寸
DP03-P-L1型三軸激光干涉鏡組典型尺寸
DP03-P-L2型三軸激光干涉鏡組典型尺寸
（圖中尺寸只做位置說明，不用于生產加工）
可根據實際測量需求定制干涉鏡組。
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